スイッチング電源

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静電チャック用高圧電源シリーズ

ESC +2KV/-2KV 50mA

+スペック一覧

ESC +1KV/-1KV 100mAイメージ準備中
  • ESC +1KV/-1KV 100mAイメージ準備中
  • ESC +1KV/-1KV 100mAイメージ準備中
特長
  • CC-Link(CCL-PS2)又は、DeviceNet(DNS-PS2)の内蔵により、フィールドネットワークが簡単に構築できます
    注1)ただし、搭載はCC-Link(CCL-PS2)又は、DeviceNet(DNS-PS2)のどちらかのみになります
  • 背面切換スイッチにより、フィールドネットワーク又は、EXT I/Fのどちらかのリモート制御が選択できます
  • 極性反転機能によるスムーズなウェハーの剥離が可能です
ダウンロード資料(PDF)
  • 取扱説明書
  • 外形図
ダウンロード資料(DXF)
  • 外形図
接続例(PDF)
  • 接続例
ESC +2KV/-2KV 50mAのスペック一覧
項目 内容
外形寸法(mm) W209 × D500 × H99 突起物除く
質量 約3.9kg
電源入力 単相 AC 200V±10% 50/60Hz
出力(電圧) DC 0~+2KV / 0~-2KV
出力(電流) DC 0~+50mA / 0~-50mA
+電圧モニタ出力 ※1 9V~5V~1V / +2KV~0V~-2KV
-電圧モニタ出力 ※1 9V~5V~1V / -2KV~0V~+2KV
+電流モニタ出力 ※1 9V~5V~1V / +50mA~0A~-50mA
-電流モニタ出力 ※1 9V~5V~1V / -50mA~0A~+50mA
+外部出力コントロール ※2 0~10V / 0V~+2KV
-外部出力コントロール ※2 0~10V / OV~-2KV
リップル含有率 1%rms以内
出力安定度 600V~2KVの時 ±1%以内
保護機能 入力NFB
出力過電流
出力電圧垂下保護回路
外部基準電圧抑制回路

改良のため予告なく仕様などを変更する場合がございますのでご了承ください。

※1 アナログモニタについて
CH1とCH2非連動でそれぞれ設定電圧を変えて使用するため、2系統の独立した電圧電流モニターが必要となります。また、静電チャックに流れる電流も正負で変わるため、ウェハーの吸着と脱離の状況を電圧と電流モニターで確認する必要があります。
※2 外部コントロールについて
OUT1とOUT2は、双極方式で使用するには、吸着で通常OUT1が+電位の時、OUT2は-電圧ですので、外部設定信号1,2はOUT1 0~10V(外部信号1)で0~+2kVでOUT2 0~10V(外部信号2)で0~-2kVとなります。その後、脱離の時は、ウェハー除電の為、外部設定電圧極性反転機能接点ONで、電流が0mAになったら出力OFFとします。
ESC±2Kv50mA デュアル出力電源
型式 ESC±2Kv50mA-CCL (CCL 搭載モデル)
ESC±2Kv50mA-DNS (DNS 搭載モデル)
ESC±2Kv50mA (アナログ I/O モデル)
販売代理店 ゼネラル物産株式会社

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