スイッチング電源

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静電チャック用高圧電源シリーズ

ESC +5KV/-5KV 40mA

+スペック一覧

ESC +1KV/-1KV 100mAイメージ準備中
  • ESC +1KV/-1KV 100mAイメージ準備中
  • ESC +1KV/-1KV 100mAイメージ準備中
特長
  • CC-Link(CCL-PS2)又は、DeviceNet(DNS-PS2)の内蔵により、フィールドネットワークが簡単に構築できます
    注1)ただし、搭載はCC-Link(CCL-PS2)又は、DeviceNet(DNS-PS2)のどちらかのみになります
  • 背面切換スイッチにより、フィールドネットワーク又は、EXT I/Fのどちらかのリモート制御が選択できます
  • 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズなウェハーの剥離が可能です
  • 出力ラインにRFフィルターを内蔵 (周波数 : 13.56MHz、60MHzのカットフィルター)

    ※1 5kVタイプはシングル電源となっておりますので、双極方式でご利用の場合は2台セットで購入ください。

ダウンロード資料(PDF)
  • 取扱説明書
  • 外形図
  • 外形図
  • リモートレジスタ
ダウンロード資料(DXF)
  • 外形図
  • 外形図
接続例(PDF)
  • 接続例
ESC +5KV/-5KV 40mAのスペック一覧
項目 内容
外形寸法(mm) W209 × D440 × H149 突起物除く
質量 約4.4kg
電源入力 単相 AC 200V±10% 50/60Hz
出力(電圧) DC +5KV~0V~-5KV
出力(電流) DC +40mA~0A~-40mA
±電圧モニタ出力 9V~5V~1V / +5KV~0V~-5KV
(出力インピーダンス100Ω以上 最大出力電流2mA)
±電流モニタ出力 9V~5V~1V / +40mA~0A~-40mA
(出力インピーダンス100Ω以上 最大出力電流2mA)
±外部出力コントロール 0~10V / 0V~±5KV (入力インピーダンス1MΩ以上)
リモート外部設定 CC-Link 1局
リップル含有率 1%rms以下
出力安定度 200V~5KVの時 ±1%以内
出力再現性 ±1%
保護機能 入力NFB
出力過電流保護
出力電圧垂下保護回路
外部基準電圧抑制回路

改良のため予告なく仕様などを変更する場合がございますのでご了承ください。

ESC+5~-5kV40mA 出力電源
型式 ESC5kV40mA-CCL (CCL 搭載モデル)
型式 ESC5kV40mA –DNS (DNS 搭載モデル)
型式 ESC5kV40mA (アナログ I/O モデル)
販売代理店 ゼネラル物産株式会社

※1 5kVタイプはシングル電源となっておりますので、双極方式でご利用の場合は2台セットで購入ください。

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