スイッチング電源

スイッチング電源シリーズ
  • 700W絶縁型スイッチング電源
  • 1KW絶縁型スイッチング電源
  • 3KW非絶縁型スイッチング電源
  • 3KW2CH非絶縁型スイッチング電源
産業用マグネトロン
  • マグネトロン用高圧電源シリーズ
  • マグネトロン
静電チャック用高圧電源シリーズ
  • ESC +1KV/-1KV 100mA
  • ESC +2KV/-2KV 50mA
  • ESC +5KV/-5KV 40mA
真空ポンプ用電源シリーズ
  • U659-052 IP
  • U659-052 NP
  • 613-IP52
  • 613-NP52
  • サブリメーションポンプ用電源
可変型高圧電源シリーズ
  • U583シリーズ
可変型中高圧電源シリーズ
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高圧電子負荷装置
  • MODEL-555
  • MODEL-652

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マグネトロン用高圧電源シリーズ

200W

+スペック一覧

300Wイメージ
  • 1.5KWを表示する
  • 200Wを表示する
特長
  • 本機は、負荷にマグネトロンをつなぎ、マイクロ波を発振出力させる為の、インバーター型のドライブ電源です
  • 高効率で、小型軽量です
  • リモート ON/OFF が可能です
  • アノード電流(マグネトロン)のモニタが可能です
  • 単相 100V用、200V用(700Wタイプ) 及び、三相 200V用(1.5KW以上)があります
  • 外部コントロール電圧入力により出力設定が可能です
  • リモートインターフェイス カスタマイズ対応いたします。
  • パラレル運転が可能です。
  • 1.5kWプラズマ負荷キットとPWM簡易コントローラー別売り用意してあります。

    *1 電源部のみの販売になります。
       使用するマグネトロン球型式ご注文前に確認が必要となります。

    *2 ご使用に際しては別売りのフィラメント用ACトランスが必要となります

接続例(PDF)
  • 接続例
マグネトロンボードタイプ製品一覧表
品名 型式
マグネトロン700W 700Wインバータ基板
マグネトロン200W プラズマ用200Wインバータ基板
マグネトロン1.5KW 1.5KWインバータ基板
1.5kWプラズマ負荷キット 1.5KWプラズマ負荷キット
PWM簡易コントローラパラレル運転対応 PWM簡易コントローラ
フィラメント用ACトランスマグネトロン球各種 フィラメント用ACトランス
インバータ電源部仕様
電源種類
(マイクロ波出力)
入力電圧AC
V
入力電流 AC
A
出力電圧
kV(MI~MAX)
出力電流
mA(MAX)
構造
プラズマ用
200W
単相 100 7.7 3.95~4.5 0~100 ※1 ボードタイプ
700W 単相 100 14 3.75~4.5 0~250 ※2 ボードタイプ
単相 200 7
1.5KW
ボードタイプ
三相 200 7.5 3.5~3.9 0~650 ※3
30~1500W
ボードタイプ
1.5KW
ボードタイプパラ運転
三相 200 15.0 4.7~5.2 0~1050 ※4 ボードタイプ
1.5KW 三相 200 8 3.5~3.9 0~650 ※5 ラックタイプ
3KW 三相 200 16 4.7~5.2 0~1050 ※6 ラックタイプ
電源種類
(マイクロ波出力)
冷却方式 電源重量 外形寸法(mm) マグネトロン型式例
プラズマ用
200W
外部より強制空冷 約1.7㎏ 255Wx180Dx127H 2M137A-01A
(2M137-M1相当品)
700W 外部より強制空冷 約1.1㎏ 230Wx150Dx96H 2M121A/2M303
1.5KW
ボードタイプ
外部より強制空冷 約1.95kg 300W×200D×90H 2M130
1.5KW
ボードタイプパラ運転
外部より強制空冷 約3.9㎏ 230Wx150Dx96Hx2 2M251
1.5KW 空冷 約17㎏ 480Wx460Dx149H 2M130
3KW 水冷 約30㎏ 480Wx520Dx199H 2M252

改良のため予告なく仕様などを変更する場合がございますのでご了承ください。

※1 DC電圧入力:0~+10Vで0~100mAのアノード出力電流可変可能。

※2 PWM入力:0~79%で0~250mAのアノード出力電流可変可能。

※3 PWM入力:0~80%で0~650mAのアノード出力電流可変可能。

※4 PWM入力:0~80%で 0~1050mA のアノード出力電流可変可能。

※5 DC電圧入力:0~+5Vで0~650mAのアノード出力電流可変可能。

※6 DC電圧入力:0~+5Vで0~1050mAのアノード出力電流可変可能。

外形図・取扱説明書
プラズマ用
200W
外形図ダウンロード(PDF) 外形図ダウンロード(DXF) 取扱説明書
700W 外形図ダウンロード(PDF) 外形図ダウンロード(DXF) 取扱説明書
1.5KW
ボードタイプ
外形図ダウンロード(PDF) 外形図ダウンロード(DXF) 取扱説明書
1.5KW 外形図ダウンロード(PDF) 外形図ダウンロード(DXF) 取扱説明書
3KW 外形図ダウンロード(PDF) 外形図ダウンロード(DXF) 取扱説明書
マグネトロン球部仕様マグネトロン購入についてはこちら
型式 出力 ピーク陽極電圧 平均陽極電流
2M303 1080W 4.4KVp 330mA
2M137A-01A(2M137-M1相当品) 1260W 4.5KVp 400mA
2M121A-57(ヨシオ電子仕様) 1400W 4.5KVp 450mA
2M130-07(ヨシオ電子仕様) 1720W 3.89KVp 650mA
2M251-01(ヨシオ電子仕様) 3000W 5.2KVp 900mA
2M252-01(ヨシオ電子仕様) 3000W 5.2KVp 900mA
型式 フィラメント 冷却方式 使用用途
2M303 3.15V/11A 空冷 マイクロ波プラズマ用・加熱用
2M137A-01A(2M137-M1相当品) 4.4V14A 空冷 マイクロ波プラズマ用・加熱用
2M121A-57(ヨシオ電子仕様) 4.6V16A/3.8V13A 空冷 マイクロ波プラズマ用・加熱用
2M130-07(ヨシオ電子仕様) 4.6V20A/3.5V/15A 空冷 マイクロ波プラズマ用・加熱用
2M251-01(ヨシオ電子仕様) 4.0V23A/2.2V13A 空冷 マイクロ波プラズマ用・加熱用
2M252-01(ヨシオ電子仕様) 4.0V23A/2.2V13A 水冷 マイクロ波プラズマ用・加熱用

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